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世界上首臺紫外光源22納米分辨率光刻機中國問世

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放大字體  縮小字體 發布日期：2018-12-25   來源：科技日報   瀏覽次數：937
核心提示：11月29日，中科院光電技術研究所承擔的國家重大科研裝備研制項目“超分辨光刻裝備研制”通過驗收，這是世界上首臺用紫外光源實現了22納米分辨率的光刻機。
  11月29日，中科院光電技巧研討所承當的國度嚴重科研設備研制項目“超分辯光刻設備研制”經由過程驗收，這是世界上首臺用紫外光源完成了22納米分辯率的光刻機。


超分辨光刻裝備研制,國家重大科研裝備研制項目

中科院光電所科研人員操作超分辯光刻裝備(供圖：中科院科技攝影同盟)
 
 
 
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